基于纳米薄膜的卷曲微弹簧研究开题报告

基于纳米薄膜的卷曲微弹簧研究开题报告一、选题背景微弹簧是一种关键的微纳米器件，在微机械系统（MEMS）和生物传感器等应用中都有广泛应用。传统的微弹簧制作方法包括激光切割、电子束曝光等，但这些方法存在成