一种辨别碳化硅晶片硅碳面的方法

一种辨别碳化硅晶片硅碳面的方法一种辨别碳化硅晶片硅碳面的方法本发明涉及一种辨别碳化硅晶片硅碳面的方法，其特征在于，包括以下步骤：将机械精抛后的碳化硅晶片进行化学抛光；将化学抛光后的碳化硅晶片用原子力显