非晶硅低温退火固相晶化的研究

非晶硅低温退火固相晶化的研究非晶硅材料由于其独特的光学和电学性质，在光伏、光电子器件等领域具有广泛的应用前景。然而，非晶硅材料的制备过程中，晶化过程对其性能有着重要的影响。其中，低温退火固相晶化是非晶