光刻胶全息光栅掩模槽形的控制和检测

光刻胶全息光栅掩模槽形的控制和检测 中文提要 光刻胶全息光栅掩模槽形的控制和检测 中文提要 本文系统的研究了制作光刻胶光栅掩模曝光和显影过程，建立了掩模制作的曝 光模型和显影模型。根据模型模拟了光栅掩