《薄膜成膜技术》PPT课件

- 第四章 薄膜成膜技术 - 本章重点介绍了常用的薄膜材料性能；干式薄膜成膜方法；电路图形形成技术等。 - 常用薄膜材料一、薄膜导体材料 导