微电子工艺复习题目(精选)模板

第一单元3比较硅单晶锭CZ、MCZ和FZ三种生长方法的优弊端？答：CZ法工艺成熟可拉制大直径硅锭，但受坩锅熔融带来的O等杂质浓度高，存在必定杂质散布，所以，有关于MCZ和FZ法，生长的硅锭质量不高。目