基于环形光源的高精度干涉仪本征噪声抑制技术研究的任务书

基于环形光源的高精度干涉仪本征噪声抑制技术研究的任务书任务书一、课题背景干涉仪是一种用于测量物体表面形貌和距离的高精度光学测量仪器。它通过利用干涉现象来获得光学路径差，进而计算出所测物体的形貌和距离。