深紫外AlGaN材料的生长与物性研究

深紫外AlGaN材料的生长与物性研究深紫外AlGaN材料的生长与物性研究摘要：本文主要介绍深紫外AlGaN材料的生长和物性研究。首先介绍了AlGaN材料的特点和在深紫外光电器件中的应用，然后详细介绍了