AlN压电薄膜复合结构

分类号 密级UDC 注 1学 位 论 文AlN 压电薄膜复合结构研究（题名和副题名）杨 杰（作者姓名）指导教师 石 玉电子科技大学教成授都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别提交论文日期博士2014.