化学综合设计实验－徐娜

化学综合实验重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂的制备与性质【实验目的】1. 初步了解光致抗蚀剂的概念2. 了解酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯正性抗蚀剂的成像原理3. 学习重氮萘醌磺酸酯的制备方法4. 学