磁控溅射操作流程及注意事项 (2)

磁控溅射操作流程及留意事项一、翻开冷却水箱电源〔注：水箱电源是设备的总电源。〕检查水压是否足够大〔0.1MPa〕，水压限制器是否起作用。二、放气2.1 确认磁控溅射室内部温度已经冷却到室温；2.2 检

细心整理 磁控溅射操作流程及留意事项 注：水箱电源是设备的总电源。 一、翻开冷却水箱电源〔〕 0.1MPa 检查水压是否足够大〔〕，水压限制器是否起作用。 二、放气 冷却到室温 2.1 确认磁控溅射室内部温度已经； 关闭状态 2.2 检查全部阀门是否全部处于； 2.3 V2 磁控溅射室的放气阀是，放气时旋钮缓慢翻开，这可以保证进入气流不会太 大； 2.4 放气完毕将气阀关紧。 三、装卸试样与靶材 3.1 BB9 翻开柜总电源〔在面板上〕，电源三相指示灯全亮为正常。 3.2 B4“”““ 提升或着陆〔升或降〕样品台要留意点动操作，不要连续操作。 3.3 装卸试样与靶材要戴一次性薄膜手套，幸免油污、灰尘等污染。 断路状态 3.4 2-3 磁控靶屏蔽罩与阴极间距为毫米，屏蔽罩与阴极应当为 。 3.5 装载试样要留意试验所用样品座位置与档板上溅射孔的对应，并记录样品座的编号 及目前所对应的靶位。 3.6 着陆样品台时要留意样品台与溅射室的吻合，并用工业酒精擦洗干净样品台与溅射 室的协作面。 四、抽真空 4.1 D“”“ 确认面板热电偶测量选择指示Ⅰ”时； 4.2 G2G4 确认闸板阀、已经关闭； 4.3 B4“”V1 翻开上机械泵Ⅰ，再翻开气阀，起先抽低真空。 4.4 B3“”B31 翻开面板的电源开关，同时关闭复合键。可以从－处视察低真空度。 5Pa (0.1Pa 低真空测量下限为〕。当真空度小于可以起先抽高真空。 4.5 V1 关闭气阀，翻开B4上“电磁阀Ⅰ”〔确认听到响声表示电磁阀已开〕 4.6 “START”FUNC/DATA 翻开B8面板的磁控室分子泵电源，按下键，按下键， H100.0 H400.0 数字起先逐步上升，等大于后翻开闸板阀G1，随后分子泵速上升并稳定到。 4.7 B2 磁控室的高真空度在面板显示，不要始终开着高真空的测量，也不要频繁开 ,1-23 关通常每隔小时可翻开视察一次，等示数稳定后再关闭〔一般不超过分钟〕。 五、充气 必需关闭高真空计 5.1-4-5 确认高真空度到达了、的数量级，在充气之前 ； 5.2 A1MFC3 翻开面板上电源，预热分钟； 5.3 G1 稍关闭闸板阀到必需程度，但不要完全关紧 5.4 V4V6V5V6 翻开、〔假设是二路进气，应和同时翻开〕阀门 5.5 ““ 将限制阀扳到阀控位置 5.6 0.1MPa 翻开气瓶阀门，稍旋紧减压阀至压力示数为即可； 30 5.7 MFCB3 调整阀控的设定〔一般在左右〕，再进一步关紧闸板阀使得低真空〔 1MFC －〕读数接近所需的溅射压强，然后通过微调阀控得到所需的溅射压强。