基于纳米压入实验的微纳电子材料力学性能表征技术研究的任务书

基于纳米压入实验的微纳电子材料力学性能表征技术研究的任务书任务书一、背景和研究意义微纳电子材料是由于电子信息技术的发展而出现的一种新型电子材料。随着微纳制造技术的不断进步，微纳电子材料的使用范围越来越