硅片cmp抛光工艺技术研究

硅片CMP抛光工艺技术研究 年月电子工艺技术 刘玉岭 （中国电子科技集团公司第四十六研究所，天津 300220） 摘 要：介绍了硅片机械-化学抛光技术，重点分析了10.16