铝刻蚀工艺中腐蚀问题的调查和改善

铝刻蚀工艺中腐蚀问题的调查和改善 　　摘 要：铝作为金属互连材料，在90纳米以上工艺中还将长期存在。铝腐蚀问题（Al Corrosion）是铝线工艺的一种主要缺陷。适当的工艺条件组合和制程的管控，并