分子束外延高铟组分InGaAs薄膜研究

分子束外延高铟组分InGaAs薄膜研究摘要：本文采用分子束外延技术，研究了高铟组分InGaAs薄膜的生长过程和表面形貌特征，探讨了生长参数对结晶质量和组分分布的影响。结果表明，在适当的生长条件下，高铟