聚酰亚胺纳米AlN杂化薄膜的制备和性能研究

聚酰亚胺纳米AlN杂化薄膜的制备和性能研究摘要：本研究采用溶胶-凝胶法和电子束物理气相沉积（EB-PVD）技术制备聚酰亚胺/AlN有机-无机杂化薄膜。通过XRD、SEM、FTIR、AFM、UV-Vis