光刻实验报告

光刻试验一．试验目的理解光刻在样品制备工艺中的作用，熟悉光刻工艺的环节和操作。二．试验原理 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的措施，将光刻掩模板上的图形精确地复制