基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法

基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法专利名称：基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法技术领域：本发明涉及一种同步控制系统，具体涉及基于VME总