模糊PI控制在真空蒸发镀膜中的应用

模糊PI控制在真空蒸发镀膜中的应用石良喜 510075,,广东工业大学自动化学院 ， 广 东 广 州 摘 要 , 针对真 空蒸发镀膜工艺过程的非线性 、 时 变 ， 溅 料 问 题 难以控制的特点 ，