绝对式光栅尺测量精度补偿方法研究

绝对式光栅尺测量精度补偿方法研究绝对式光栅尺是一种常用的高精度测量设备，广泛应用于机械制造、精密仪器、自动化设备等领域。然而，由于受到各种因素的影响，绝对式光栅尺在测量过程中存在一定的精度误差。因此，