硅生长过程中磁场对流场及提拉速率的影响

硅生长过程中磁场对流场及提拉速率的影响邓谷雨, 陈启生* 中国科学院力学研究所，北京，100080Email: qschen@imech.ac.cn 摘要：本文通过使用基于非正交网格有限体积法的FLU