浅谈负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响论文

浅谈负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响论文浅谈负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响论文　　类金刚石薄膜(DLC薄膜)是一种类似金刚石结构的非晶态碳膜。它具有高硬度、低摩擦因数、高耐磨性以