氧化镁衬底铝铟氧化物薄膜的制备及特性研究

氧化镁衬底铝铟氧化物薄膜的制备及特性研究氧化镁衬底铝铟氧化物薄膜的制备及特性研究摘要：本文通过对氧化镁衬底上的铝铟氧化物薄膜的制备方法进行研究，并对其特性进行了表征。利用射频磁控溅射技术，在氧化镁衬底