LTCC印刷工艺分析

LTCC印刷工艺分析摘要:基于新研发的半自动印刷机，介绍了设备的主要构成部件以及LTCC基板工艺过程中的印刷工艺，并就实验过程中遇到的工艺问题进行了一一分析，提出了相应的解决方案。经实验验证，印刷工艺

LTCC 印刷工艺分析 : 摘要 LTCC 基于新研发的半自动印刷机，介绍了设备的主要构成部件以及基板工艺过程中的印 。 刷工艺，并就实验过程中遇到的工艺问题进行了一一分析，提出了相应的解决方案经实 。 验验证，印刷工艺效果成功实现了控制 关键词 :;LTCC;; 半自动印刷机印刷工艺工艺问题分析 LTCC(LowTemperatureCofiredCeramic) －是一种将未烧结的流延陶瓷材料叠层在一起而制 、 成的多层电路，内有印制互联导体元件和电路，并将该结构烧结成一个集成式陶瓷多层 。LTCC、、 材料技术以其集成密度高和高频特性好等优异的电学机械热学及工艺特性， 、、、、 成为目前电子元件集成化的主流方式，广泛应用于电子通讯航空航天汽车计算机 1。LTCC 和医疗等领域［］印刷工艺作为技术环节中的重要一环，最终的印刷效果直接 。 决定了后续工艺的可行性及难易度基于提高印刷效果的要求，研制了半自动对位印刷 。 机 1LTCC 流程介绍 LTCC、、、、、 在生产工艺过程中，主要包括打孔微孔填充整平刮孔印刷叠片和高温烧 1。 结等，具体的生产工艺流程如下图所示 2 设备和工艺 21 ．设备介绍 2 图为半自动印刷机半自动印刷机是一种用来往干燥后的生瓷片上印刷电路的设备，可以 ()。:1) 印刷线条，独立模块电阻，电感等电路元器件设备主要包括以下几个功能部件印刷 ;2)CCD;3);4)UVW;5)。 机构定位系统工作台机构定位平台机构控制系统 22 ．印刷工艺 LTCC() 基板每层上的电路图形包括导带，电阻，电容，电感等无源器件是通过印刷工艺来 。:、、 实现的影响印刷图形质量的关键因素众多，具体包括丝网类型和目数乳胶类型印刷 、、 速率刮板或辗辊的硬度和接触角度印刷压力和丝网的变形量等，必须在生产过程中严