MEMS微电容传感器检测电路的研制的中期报告

MEMS微电容传感器检测电路的研制的中期报告摘要：本次实验旨在研制一种适用于MEMS微电容传感器的检测电路，通过中间报告的实验结果，我们可以初步评估该电路的性能。首先，我们设计了一种基于放大器电路的检