基底的亚表面缺陷分析及表面改性

基底的亚表面缺陷分析及表面改性摘要随着半导体工业的发展，材料的性能对电子器件的性能和可靠性越来越重要。在材料表面和亚表面的缺陷研究中，表面改性技术已成为一种受欢迎的工具。本文将首先介绍基底材料的亚表面