Sentaurus Process 中文介绍及使用

§17-1 新一代集成工艺仿真系统 Sentaurus Process随着集成电路制造工艺技术的迅速发展和日趋成熟，集成电路的集成度迅速攀升，制造流程及工艺步骤也日趋复杂。当前，硅集成电路制造工艺技术