火焰沉积法制备SiO2功能薄膜及其应用探索

火焰沉积法制备SiO2功能薄膜及其应用探索摘要：本文基于火焰沉积法制备SiO2功能薄膜的原理和方法进行探究，并研究了SiO2薄膜在不同领域的应用。通过SEM、XRD等分析仪器对SiO2薄膜的结构和性能