ZYGO干涉仪-使用说明新版资料

1目标 为了使职员正确熟悉使用ZYGO干涉仪。本文具体说明了怎样使用ZYGO 干涉仪来测试晶体平行度、波前、平面度等指标。2范围 本文件包含用ZYGO 干涉仪检测平面元件通常方法。 3 录用数据 在检