三氯氢硅合成工艺的影响因素及控制

三氯氢硅合成工艺的影响因素及控制摘要：本文介绍了目前三氯氢硅合成工艺中工业硅 粉粒度、氯化氢气体含水量及纯度、流化床生产工艺参数对 合成系统的影响。本文通过生产实践发现：将硅粉的粒度控 制在125~4