西安交通大学微电子制造技术硅片制造中的沾污控制

- 学 习 目 标 - 1. 了解5种不同类型的净化间污染，并讨论与每种污染相关的问题；2. 列举净化间的7种沾污源，并描述每一种是怎样影响硅片的洁净；3. 解释并使用净化级别