GaN基热氧化物的XPS和椭偏光谱研究

GaN基热氧化物的XPS和椭偏光谱研究GaN基热氧化物的XPS和椭偏光谱研究摘要：本文研究了GaN基热氧化物的XPS和椭偏光谱特性。采用XPS对样品的元素组成和化学状态进行了表征，揭示了GaN基热氧化