超大规模集成电路技术基础课件

- 黄君凯 教授 - 5.2 干法刻蚀（等离子体辅助刻蚀） - 5.2.1 等离子体原理等离子体：一种部分或全部离子化的气体，其中含有等量正负性电荷，