基于离子束剥离与转移技术的异质集成材料研究

基于离子束剥离与转移技术的异质集成材料研究基于离子束剥离与转移技术的异质集成材料研究摘要：随着集成电路领域的不断发展和进步，对于尺寸更小、性能更高的芯片需求也日益增长。异质集成材料作为满足这一需求的重