氮化铝薄膜制备及性能研究的任务书

氮化铝薄膜制备及性能研究的任务书一、研究背景及意义随着微电子技术的不断发展和普及，氮化铝材料作为一种重要的高性能材料，已经成为了许多微电子器件的重要组成部分。氮化铝具有优异的导电性、光学性能和力学性能