单靶镀膜工艺操作规范

单靶镀膜工艺操作规范适用范围本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。技术要求2.1铝靶的直径≥60mm；2.2压缩空气的压强应达到0.4～0.6Mpa；2.3镀膜操作室的室温小于35℃，相对湿度