生长条件对硅衬底GaN薄膜中C、H、O杂质浓度影响的研究论文

摘要 2、 Ion Y21 409芎芝 摘要 近年来，作为新一代照明材料的GaN基LED的相关技术取得了卓越的进步， 吸引了极大的关注。但是GaN基LED要进入通用照明市场，仍有大量的科学技 术问题需