表面等离子体超分辨光刻仿真分析

表面等离子体超分辨光刻仿真分析摘要：表面等离子体超分辨光刻（SEXP）是一种新型的光刻技术，能够比传统的光刻技术达到更高的分辨率和更小的结构尺寸。本文介绍了表面等离子体的基本原理和SEXP的研究背景，