氮化铝薄膜MEMS压电超声换能器设计及应用

氮化铝薄膜MEMS压电超声换能器设计及应用氮化铝薄膜MEMS压电超声换能器设计及应用摘要：薄膜MEMS压电超声换能器作为一种新兴的微纳传感器件，具有体积小、能耗低、频率响应高的优势，广泛应用于医学成像