离子束混合形成TiN薄膜的研究

离子束混合形成TiN薄膜的研究离子束混合形成TiN薄膜的研究摘要：TiN薄膜作为一种重要的金属陶瓷薄膜材料，具有优异的硬度、耐磨性和耐腐蚀性能，在微电子、光电子和功能材料等领域有广泛的应用。本文通过离