一种重结晶碳化硅陶瓷膜的制备方法

一种重结晶碳化硅陶瓷膜支撑体的制备方法权利要求书1.生产重结晶碳化硅陶瓷膜支撑体的方法，该方法包括以下步骤：使原料粉末成型，和从大气压的氢气气氛或氩气气氛或真空，温度从2200℃到2500℃的条件下烧