硅片不对称倒角工艺研究

硅片不对称倒角工艺研究 摘要：硅单晶经切割而成为硅片后，其边缘棱角部位容易产生崩边缺口以及裂纹等损伤，对后续工艺过程造成不同程度的影响。进而引入硅片倒角工艺，消除了硅片边缘应力集中区域，减少了后