化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究

化学气相沉积法制备ZnSe多晶材料的缺陷研究随着半导体材料的发展和应用范围的不断扩大，对其品质和技术要求也越来越高。ZnSe材料是一种重要的半导体材料，具有优良的光电性能和应用前景，因此在光电领域和电