mems压力传感器原理与应用资料

MEMS压力传感器原理与应用 MEMS（微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设