InGaAs中Be离子注入的研究

InGaAs中Be离子注入的研究摘要：本文详细介绍了在InGaAs中Be离子注入的研究。我们首先了解了InGaAs材料及其电学特性，然后介绍了Be离子注入技术并探究了其在InGaAs上的效果。实验结果