全息离子束刻蚀真空紫外及软X射线衍射光栅研究硕士论文

‘...............摘 要全息离子束刻蚀衍射光栅是通过全息光刻制作出光刻胶光栅掩模和离子束刻蚀将其转移到光栅基底上而制成，它集中了机械刻划光栅的高效率和全息光栅的无鬼线、低杂散光、高信噪比