直流磁控溅射法制备Ti-TiN-TiO2光谱选择性吸收薄膜的研究的任务书

直流磁控溅射法制备Ti-TiN-TiO2光谱选择性吸收薄膜的研究的任务书任务书任务名称：直流磁控溅射法制备Ti-TiN-TiO2光谱选择性吸收薄膜的研究任务背景：在太阳能热利用系统中，光谱选择性吸收薄