基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究的任务书

基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究的任务书任务书一、研究背景及意义随着微纳机电系统（MEMS）技术的发展，MEMS加速度计因其具有体积小、质量轻、功耗低等优势，被广泛应用于惯性导航、运动