面向精密定位的平面电容式多自由度位移测量传感器关键技术研究

面向精密定位的平面电容式多自由度位移测量传感器关键技术研究摘 要本文主要讨论了面向精密定位的平面电容式多自由度位移测量传感器关键技术研究。随着精密制造和自动化技术的不断发展，测量精度要求越来越高