椭偏光谱原理和技术

椭偏光谱原理和技术本章通过介绍椭偏光谱的基本原理、光度型椭偏光谱仪以及椭偏光谱分析 特点，给出了椭偏光谱技术在离子注入的辐照损伤以及材料光学性质研究中的 应用和局限。利用椭偏光谱技术，结合其它分析手段